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        1. 深圳市中圖儀器股份有限公司

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          3d光學(xué)表面輪廓儀檢測(cè)儀

          參  考  價(jià):面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào):

          品       牌:CHOTEST/中圖儀器

          廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

          所  在  地:深圳市

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          更新時(shí)間:2024-05-12 08:06:28瀏覽次數(shù):1513次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,生物產(chǎn)業(yè),印刷包裝,綜合
          ?中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓儀檢測(cè)儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。主要用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。

          中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓儀檢測(cè)儀是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。主要用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。


          部分參數(shù)

          Z向分辨率:0.1nm

          橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

          粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

          表面形貌重復(fù)性:0.1nm

          臺(tái)階測(cè)量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%


          比如在芯片封裝測(cè)試流程中,晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測(cè)量晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。


          SuperViewW1 3d光學(xué)表面輪廓儀檢測(cè)儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而對(duì)于8英寸及以下晶圓,SuperViewW1-Pro型號(hào)增大了測(cè)量范圍,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


          對(duì)wafer減薄后無圖晶圓粗糙度測(cè)量


          封裝制程中對(duì)Wafer的切割


          對(duì)Die的輪廓分析及蝕刻深度測(cè)量


          SuperViewW1的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。

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